Titán félvezető alkatrészek
A China Super Tech Co., Ltd. által piacra dobott, félvezető -minőségű titánötvözetből készült hordozótálca egy közel -háló-alakú magkomponens, amelyet kifejezetten csúcskategóriás-litográfiai berendezésekhez terveztek. Súlya körülbelül 80 kilogramm. Titánötvözet hordozóból készült, egyetlen-darabos fröccsöntési eljárással, és stabilan hordozza az ostyamodulokat nagy-tisztaságú és nagy{11}}rezgésű félvezetőgyártási környezetben. Ez jelentősen csökkenti az anyagpazarlást és a hagyományos feldolgozási módszerek okozta precíziós eltéréseket.
- A termék bemutatása
A termék jellemzői
1. Alacsony anyagveszteség
Az ívplazma-leválasztási eljárás és a titánhuzal alapanyagaként a réteg-a-rétegolvasztáshoz és fröccsöntéshez az anyagfelhasználási arány 70%-kal magasabb, mint a hagyományos marásnál, csökkentve az értékes titán anyagok szükségtelen fogyasztását.
2. Nagy szerkezeti merevség
Az alakítás után a belső szerkezet sűrű és egyenletes, a hagyományos öntvényeknél megszokott porozitási hibák nélkül. Kisebb valószínűséggel deformálódik a berendezés nagy sebességű{1}}mozgási körülményei között, és a precíziós ingadozás kisebb, mint 0,02 mm hosszú -hosszú távú használat során.
3. Alacsony maradékfeszültség
A formázás után exkluzív hőmérséklet{0}}kontrollált öregedési kezelést biztosítunk az összetevőknek. Az alkatrészeken belüli maradék feszültség sokkal alacsonyabb, mint az ipari szabvány. A későbbi precíziós feldolgozás során nem következik be váratlan deformáció.
4. Magas tisztaság és kompatibilitás
A titánötvözet felülete passziválással kezelhető, amely nem hajlamos a fémrészecskék kicsapódására, és teljes mértékben megfelel a félvezető műhely magas tisztasági gyártási követelményeinek.
Termék alkalmazása
1. Ostyahordozó litográfiai berendezésekhez
A litográfiai rendszerben az ostyahordozó tálcaként biztonságosan tartja az ostyamodult a nagy-sebességű mozgás és a pontos igazítási folyamat során, megakadályozva az ostya elmozdulását az expozíciós folyamat során, és biztosítja az egyes ostyák vonalmaratásának pontosságát.
2. Vákuumos bevonathordozó
A félvezető vákuumbevonó gép belsejébe helyezve a bevonandó chipeket csoportosan helyezi el. A titán anyag vákuum környezetben rendkívül alacsony gázkibocsátással rendelkezik, ami nem rontja meg a bevonat kamrában uralkodó nagy vákuum állapotot, biztosítva a bevonatréteg egyenletességét és sűrűségét.
3. Chipvizsgáló rögzítőalap
A forgácsválogató és -vizsgáló berendezés alapelemeként a saját súlya által okozott nagy stabilitás ellensúlyozni tudja a berendezés nagy sebességű válogatása{0}} okozta enyhe vibrációt, pontosabbá téve a szonda és a forgácstüskék beállítását, és csökkenti a tesztelés hibaarányát.
Testreszabott szolgáltatás
A China Super Tech Co., Ltd. teljes körű-folyamatokra szabott szolgáltatást tud nyújtani az igények összehangolásától a termékszállításig. Az érett titánötvözet felhordási technológiájára támaszkodva gyorsan képes közel-nettó-formájú tuskót készíteni anélkül, hogy ismételt öntőformagyártásra lenne szükség. Ezt követően csak kis mennyiségű precíziós feldolgozás szükséges a kívánt méretpontosság eléréséhez, az ügyfél specifikációi szerint.
Az alkatrészek alakját és belső merevítési szerkezetét a tényleges beépítési helyhez és a vevő berendezéseinek teherbírási-igényeihez igazítjuk, valamint az ügyfél igényei szerint különböző tisztasági szintekhez megfelelő felületkezelési megoldásokat tudunk biztosítani. A folyamat során nyomon követjük a feldolgozás előrehaladását annak érdekében, hogy a testre szabott komponensek közvetlenül illeszkedjenek a vevő félvezető berendezéseinek meglévő ellátási lánc rendszerébe, anélkül, hogy a berendezés interfészét módosítani kellene.
Specifikáció
|
Paraméter |
Specifikáció |
|
Termék neve |
Titán félvezető alkatrészek |
|
Anyag |
Tiszta titán (1. osztály, 2. osztály), titánötvözet (5. osztály / Ti-6Al-4V) |
|
Standard |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (egyedi elérhető) |
|
Gyártási folyamat |
CNC megmunkálás, precíziós esztergálás, marás, köszörülés |
|
Elérhető formák |
Gyűrűk, kamrák, céltáblák, karimák, lemezek, szerelvények, egyedi alkatrészek |
|
Átmérő |
5 mm – 1000 mm |
|
Hossz |
3000 mm-ig |
|
Vastagság |
0,5 mm – 200 mm |
|
Tolerancia |
±0,005 mm és ±0,02 mm között (a kiviteltől függően) |
|
Felületi kidolgozás |
Megmunkált, polírozott, tükörfényezés, homokfúvott, pácolt |
|
Felületi érdesség |
Ra 0,2-1,6 μm |
|
Tisztaság |
Up to 99.9% (Commercially Pure Titanium) |
|
Sűrűség |
4,51 g/cm³ |
|
Üzemi hőmérséklet |
600 fokig |
|
Korrózióállóság |
Kiváló savakkal, lúgokkal és ultra{0}}tiszta vegyi anyagokkal szembeni ellenállás |
|
Tanúsítvány |
ISO 9001, Anyagvizsgálati tanúsítvány (EN 10204 3.1 Elérhető) |
|
OEM / ODM |
Elérhető |
GYIK
Miért használják széles körben a titánt a félvezető berendezésekben a rozsdamentes acél vagy alumínium helyett?
+
-
A titán a korrózióállóság, az alacsony gázkibocsátás, a nagy szilárdság-/-tömeg arány és az ultra-nagyvákuumú (UHV) környezettel való kompatibilitás kiváló kombinációját kínálja. Ezek a tulajdonságok ideálissá teszik a félvezetőgyártó berendezésekhez, amelyek agresszív vegyszereknek, plazmafeldolgozásnak és nagy-tisztaságú gyártási körülményeknek vannak kitéve. A rozsdamentes acélhoz vagy alumíniumhoz képest a titán kevésbé valószínű, hogy fémionokkal vagy -részecskékkel szennyezi az ostyákat, ami segít javítani a termelési hozamot és a folyamat stabilitását. Általában vákuumkamrákhoz, technológiai szerelvényekhez, gázelosztó alkatrészekhez, ostyakezelő alkatrészekhez és plazmaberendezésekhez használják.
Hogyan minimalizálható a részecskeszennyeződés a gyártás során?
+
-
A részecskék szennyeződése az egyik legnagyobb aggodalom a félvezetőgyártók számára, mivel még a mikroszkopikus részecskék is csökkenthetik az ostya hozamát. A szennyeződés minimalizálása érdekében a titán félvezető alkatrészeket precíziós CNC-megmunkálásnak kell alávetni, amelyet megfelelő felületkezelés követ, mint például polírozás, passziválás vagy elektropolírozás, ha szükséges. Az alkatrészek tisztítása általában félvezető -minőségű tisztítási eljárásokkal történik, és tiszta környezetben csomagolják, hogy megakadályozzák a szennyeződést a szállítás során. Az ügyfelek egyedi felületi érdesség (Ra), tisztasági szinteket és testreszabott csomagolást is kérhetnek a berendezési követelményeiknek megfelelően.
Tud-e egyedi titán félvezető alkatrészeket gyártani a rajzok szerint?
+
-
Igen. A legtöbb félvezető titán alkatrészt személyre szabott-gyártják, mivel minden berendezésgyártó eltérő tervezési specifikációkkal rendelkezik. Az ügyfelek általában a következőket adják: 2D rajzokat vagy 3D CAD fájlokat (STEP, IGES, PDF) Anyagminőségi követelmények Felületkezelési előírások Kritikus tűrések Tisztasági követelmények Ellenőrzési követelmények Ezen előírások alapján a precíziós CNC megmunkálás, a méretellenőrzés, az anyag nyomon követhetősége és a személyre szabott csomagolás mind biztosítható a szállítás előtt.
Milyen minőségi dokumentumok biztosíthatók titán félvezető alkatrészekkel?
+
-
A félvezető berendezések gyártói gyakran megkövetelik a teljes minőségi dokumentációt a termék konzisztenciájának és nyomon követhetőségének biztosítása érdekében. Tipikus dokumentumok a következők: Anyagvizsgálati tanúsítvány (EN 10204 3.1) Kémiai összetétel jelentés Mechanikai tulajdonság jelentés Méretvizsgálati jelentés CMM vizsgálati jelentés Felületi érdesség jelentés Első cikk ellenőrzése (FAI) Megfelelőségi tanúsítvány (COC) További vizsgálati jelentések is rendelkezésre bocsáthatók az ügyfél specifikációi szerint.
Hogyan tarthatják fenn a titán alkatrészek hosszú élettartamát zord félvezető-feldolgozási környezetben?
+
-
A félvezető feldolgozás gyakran nagy vákuumot, plazma expozíciót, korrozív folyamatgázokat és ultra{0}}tiszta vegyszereket foglal magában. A rossz anyagválasztás vagy a nem megfelelő felületkezelés korróziót, szennyeződést, túlzott gázképződést vagy a berendezés élettartamának lerövidülését eredményezheti. A kiváló-minőségű titán alkatrészeket megfelelő titánminőséggel, precíziós megmunkálással, ellenőrzött felületkezeléssel és szigorú minőségellenőrzéssel gyártják. A megfelelő anyagválasztás a tiszta gyártási folyamatokkal együtt javítja a korrózióállóságot, csökkenti a gázkibocsátást, minimalizálja a részecskeképződést, és meghosszabbítja az alkatrészek élettartamát nehéz félvezető üzemi körülmények között.
Népszerű tags: titán félvezető alkatrészek, Kína titán félvezető alkatrészek gyártói, beszállítói, gyárai, titán 5 tengelyes cnc alkatrészek, titán cnc maró alkatrészek, titán hőálló alkatrészek, titán nagy pontosságú CNC alkatrészek, titán megmunkált alkatrészek, titán félvezető berendezések alkatrészei
